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硼磷硅玻璃即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质以及金属层间介电质在IC制造中有着广泛的应用。它具有卓越的填孔能力，并且能够提高整个硅片表面的平坦化，从而为光刻及后道工艺提供更大的工艺范围。
| 外文名 | Boro-phospho-silicate Glass |
| 成因 | 芯片整合问题、制程问题 |
| 制备方法 | PECVD、SACVD |
| 优点 | 具有卓越的填孔能力 |
| 释义 | 掺杂了硼和磷的 二氧化硅 |
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尚可名片
这家伙太懒了，什么都没写！
