名称

三维形貌测量系统

三维形貌测量系统

参数

主要技术指标:

● 光源:150W光纤冷光源

● 有效测量范围:

细观:X、Y方向的有效测量范围:0.5×0.7mm2~5×7mm2

X、Y方向的测量分辨力:0.5um~5.0um

深度(Z)方向测量范围: 0.5um~300um(最大放大倍数)~5um~3mm( 最小放大倍数)

Z方向测量分辨力: 0.01um(最大放大倍数)~0.1um(最小放大倍数)

宏观:X、Y方向的有效测量范围:100×140mm2~ 1000×1400mm2

X、Y方向的测量分辨力:0.1mm~1.0mm

深度(Z)方向测量范围:30mm~300mm

Z方向测量分辨力:0.01mm~0.1mm

● 分辨率: 1/20光栅节距

● 显示速率:25帧/s

● 细观测量:采用10 倍手动变焦镜头

● 软件:相移三维变形测量软件

● 图像分辨率:1280×1024(细观 2560×1920)