激光功率计是用来测试连续激光的功率或者脉冲激光在某一段时间的平均功率的仪器。

设备简介

常用到激光能量计，用来探测重复脉冲激光的单发能量和单脉冲激光的能量。Ophir 的热电堆型激光功率计通过热电堆结构将光能转换成热量，再转换为电信号输出，通过校准来精确测量激光功率的大小。激光功率计一般由探头和显示设备组成，激光功率计探头按照不同的原理和材料分为热电堆型（thermal）、光电二极管型（PD:Photodiode）、以及包含两种传感器的综合探头（RP），激光能量计则有热释电传感器(PE:Pyroelectric)和热电堆（Thermal）传感器探头。

生产企业

典型的生产厂商有加拿大Gentec-EO和以色列Ophir, 其中Ophir功率和能量探头有一百多种。探头选择取决于测量的类型及待测激光的参数，比如激光连续or 脉冲？激光功率or 能量范围？光束口径？波长（范围）。没有一款探头能适应所有的激光测试条件。主要有显示设备用来显示测量结果，有不同功能的表头，或电脑连接器。光电二极管激光能量传感器的灵敏度较高，能探测的最小能量达到10Pj, 热释电激光能量传感器一般有金属型和损伤阈值较高的BF型。由于种类较多，一般可以通过厂商提供的筛选选软件来选择使用合适的探头。

sensor类型备注适用范围
功率传感器1热电堆激光功率传感器测功率1/n·mW~ n·Kw
测单脉冲激光能量()f≤0.2HZ
2热电堆激光功率、位置、光斑大小传感器定中心、光束定位、路径跟踪以及功率和单脉冲能量测试
3光电二极管激光功率传感器1pW--n·100mW--3W(filter)
能量传感器4热释电激光能量传感器耐用性比热电堆型差，不使用时需移除激光照射f≤25KHZ

探头类型

热电堆型激光功率计

表面吸收材料种类较多，对应不同的吸收光谱和不同的功率密度损伤阈值。典型的有

表面吸收结构探头：

-BB宽光谱吸收材料，此宽光谱吸收材料的镀层损伤域值可达20KW/cm；吸收率大约90%，从紫外到红外的曲线平滑;

-EX (Excimer lasers) 准分子激光专用吸收材料，对于紫外光有高吸收率，可以承受高能量或高平均功率的准分子激光，同时对10.6um和其他波长也有很好的响应，-EX最大平均功率强度约2KW/cm。

-LP长脉冲吸收材料，对于豪秒量级长脉冲或是连续波激光有很高的损伤域值，在1064nm和10.6μm处做过校准，-LP最大平均功率强度约10KW/cm, -LP1最大平均功率强度约20KW/cm。

体吸收结构探头：

-P短脉冲式吸收材料，应用于短脉冲激光的探头，最大平均功率强度50W/cm。对于脉冲激光，吸收材料表面有大约95%吸收率的特殊的ND吸收玻璃。

-HE/-HE1高能量脉冲激光吸收材料，-HE最大平均功率强度500W/cm。对于短脉冲/高平均功率激光都有高的损伤域值。

-HL高能量长脉冲吸收材料，用于脉宽大于2ms的高能量，高平均功率的激光

-PF/-SV 作为-P探头的扩展，能承受更高的平均功率和平均功率密度，-PF（3KW/cm），-SV（60KW/cm）。