三氯硅烷（生产半导体硅、单晶硅的原料）

生产方法

1.沸腾氯化法硅粉经干燥后加入氯化沸腾炉，与通人炉中的干燥氯化氢气体在340℃进行反应。生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅，由蒸馏塔出来的三氯氢硅气体经冷凝，制得三氯氢硅成品。

2.将硅(97%)填充到石英反应管中，边通入干燥氯化氢，边反应。接受器用冷冻剂冷却。往氯化钠中加入浓硫酸产生氯化氢。反应前，将炉加热，通入干燥氢气使系统干燥，接着加热到300℃，送入氯化氢使其反应。蒸馏反应产物，首先蒸出的是溶解的氯化氢，接着蒸出产物。残余组分为四氯化硅。如有必要，可再次蒸馏进行提纯。

对环境的影响

健康危害

侵入途径：吸入、食入。

健康危害：对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度下，引起角膜混浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿。并可伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状。沾在皮肤上，可引起坏死，溃疡长期不愈。

毒理学资料及环境行为

急性毒性：LD501030mg/kg(大鼠经口)；LC501500mg/m3，2小时(小鼠吸入)

刺激性：家兔经眼：5mg/m3，引起刺激。对皮肤、粘膜有强烈的刺激和腐蚀作用。

亚急性和慢性毒性：可见卡他性气管炎、支气管炎及时期肺硬化表现。

危险特性：遇明火强烈燃烧。受高热分解产生有毒的氯化物气体。与氧化剂发生反应，有燃烧危险。极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。

燃烧(分解)产物：氯化氢、氧化硅。

3.现场应急监测方法:

实验室监测方法

用色谱-质谱鉴别和[气相]色谱法测定三氯硅烷和四氯化硅中的含碳杂质[刊，俄]/Glavin G.G.；Srepanov A.I.,Kvin V.E.…//Сб.науч.тр.Н-и.илроект. ин-т.редкомет.лром-сти.Гиредмет.-1986,135.-59～64

环境标准

中国车间卫生标准3mg/m3

用途

用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。

应急处理方法

迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿消防防护服。从上风处进入现场。尽可能切断泄漏源，防止进入下水道、排洪沟等限制性空间。小量泄漏：用砂土或其它不燃材料吸附或吸收。大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容；用泡沫覆盖，降低蒸气灾害。在专家指导下清除。

呼吸系统防护：空气中浓度超标时，应该佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩)。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴自给式呼吸器。

眼睛防护：呼吸系统防护中已作防护。

身体防护：穿胶布防毒衣。

手防护：戴橡胶手套。

其它：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作毕，淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。

三、急救措施

皮肤接触：立即脱去被污染的衣着，用大量流动清水冲洗，至少15分钟。就医。

眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。

吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。

食入：误服者用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。

灭火方法：消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风处灭火。灭火剂：干粉、干砂。切忌使用水、泡沫、二氧化碳、酸碱灭火剂。

安全信息

符号：GHS02GHS05GHS07

信号词：危险

危害声明：H224;H250;H302+H332;H314

附加危害声明：与水接触释放出有毒气体，遇水反应剧烈。

警示性声明：P210;P280;P303+P361+P353;P305+P351+P338;P370+P378;P422

包装等级：I

危险类别：4.3

WGK Germany：1