氧化铟锡(ITO，或者掺锡氧化铟)是一种铟（III族）氧化物(In2O3) and锡（IV族）氧化物(SnO2)的混合物，通常质量比为90%In2O3，10% SnO2。它在薄膜状时，透明，略显茶色。在块状态时，它呈黄偏灰色。

2017年10月27日，世界卫生组织国际癌症研究机构公布的致癌物清单初步整理参考，氧化铟锡在2B类致癌物清单中。

中文名

氧化铟锡（ITO）

外文名

Indium tin oxide

别名

掺锡氧化铟

分子量

428.343

分子式

In2O5Sn

CAS号

50926-11-9

熔点

287 ℃

沸点

82 ℃

密度

7.156 g/cm³

外观

透明茶色薄膜或黄偏灰色块状

闪点

57.2 ℉

应用

制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、太阳能电池、抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀、各种光学镀膜

主要特性

氧化铟锡主要的特性是其电学传导和光学透明的组合。然而，薄膜沉积中需要作出妥协，因为高浓度电荷载流子将会增加材料的电导率，但会降低它的透明度。

氧化铟锡薄膜最通常是物理气相沉积、或者一些溅射沉积技术的方法沉积到表面。

因为铟的价格高昂和供应受限、ITO层的脆弱和柔韧性的缺乏、以及昂贵的层沉积要求真空，其它取代物正被设法寻找。碳纳米管导电镀膜是一种有前景的替代品(石墨烯是最佳的替代品)。这类镀膜正在被Eikos发展成为廉价、力学上更为健壮的ITO替代品。PEDOT和PEDOT:PSS已经被爱克发和H.C. Starck制造出来.PEDOT:PSS层已经进入应用阶段（但它也有当暴露与紫外辐射下时它会降解以及一些其他的缺点）。别的可能性包括诸如铝-参杂的锌氧化物。

使用

ITO主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、以及太阳能电池、和抗静电镀膜还有EMI屏蔽的透明传导镀膜。

ITO也被用于各种光学镀膜，最值得注意的有建筑学中红外线-反射镀膜(热镜)、汽车、还有钠蒸汽灯玻璃等。别的应用包括气体传感器、抗反射膜、和用于VCSEL激光器的布拉格反射器。

ITO薄膜应力规可以在高于1400°C及严酷的环境中使用，例如气体涡轮、喷气引擎、还有火箭引擎。