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竣工测量随各阶段施工的完成而陆续进行，并对已建成的建筑物作最终测量。为此，要特别注意在基坑和管沟回填土之前进行地下管道、电缆、电信路线网和基础等隐蔽工程的测量。

实测竣工总平面图时，对于主要建筑物的轮廓点(大型的至少测三点)、地下管线的起终点、交叉点、转折点、分支点、窨井中心、道路交叉点、铁路岔心、尽头、车间入口处和人防工程出入口处等重要地物的细部点，可用解析法测算其坐标。对于建筑物室内地坪、散水坡脚、给水管管顶、排水管管底、窨井底、地沟底、道路变坡点等，可用水准仪测定其高程。凡无需测定细部点坐标的各种建筑物、道路等可图解其位置。

竣工总平面图的编绘，一般采用建筑坐标系统。其坐标轴应与主要建筑物平行或垂直，图面大小要考虑使用与保管方便，一般应从主厂区向外分幅，避免主要车间被分幅切割，并要照顾生产系统的完整性，使之尽可能绘制在一幅图纸上。竣工总平面图一般包括：比例尺1:1000的综合平面图和管线专用平面图，以及比例尺为1:200～1:500的独立设备与复杂部件的平面图。对于小型的工业建设项目，最好能编绘一种比例尺为1:500的总平面图来代替前两种比例尺为1:1000的平面图。对于大型和联合企业应编绘比例尺为1:2000～1:5000的不同颜色绘示的综合总平面图。

工业建设竣工测量，除了使用常规仪器和方法外，近年来使用电子速测系统（见工程测量仪器）可以把施测内容进行记录、存储作为档案，用来随时编制出不同比例尺和不同内容的图件，并且可以有效地提高作业效率和测绘质量。