特征

4200-SCS型半导体特性分析仪

* 直观的、点击式Windows操作环境

* 独特的远端前置放大器，将

SMU

的分辨率扩展至 0.1fA

* 用于高级半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能

* 集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡

* 内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储

* 独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能

4200-SCS型半导体特性分析仪

* 内置了Stress/Measure，循环和数据分析功能，通过鼠标点击方式就可进行可靠性测试，包括5个JEDEC规 范的样品测试

* 支持 Keithley590 型与 Agilent 4284/4294型C-V仪、Keithley开关矩阵与Agilent 81110脉冲发生器等多种外围设备

* 硬件由 Keithley交互式测试环境（KITE）来控制，用户测试模块功能，可用于外接仪表控制与测试平台集成，是KITE功能的扩充

* 包括驱动软件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自动和手动探针台

* 支持先进的半导体模型参数提取，包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso

配件应用

4210-MMPC-C，4210-MMPC-C型高精确三同轴线缆工具箱（用于Cascade Microtech Probers）

4210-MMPC-S，4210-MMPC-C型高性能三同轴电缆套件（配合级联微技术探头使用）

LR8028，LR:8028型成分测试夹具-优化设备测试到200V/1A

4200-SMU，4200-SMU型4200-SCS中等功率源-测量单元（100mA~100fA，200V~1uV，2W）

4210-CVU，4210-CVU型1kHz~10MHz电容电压测量单元

4210-SMU，4210-SMU型4200-SCS高功率源-测量单元（1A~100fA，200V~1uV，20W）

4200-PA，4200-PA型4200-SMU和4210-SMU远程前置放大器选件

4205-PG2型双通道脉冲发生器

4200-SCP2型双通道示波器卡

4200-SCP2HR型200MS双通道示波器卡

仪器应用

* 4225-PMU超快I-V模块

* 4220-PGU脉冲发生器单元（仅电压源）

* 4225-RPM远程放大器/开关

* 4200-SMU中等功率源测量单元

* 用于4200-SCS的4210-SMU高功率源测量单元

* 用于4200-SMU和4210-SMU的4200-PA远程前置放大器选件

* 4210-CVU 1kHz - 10MHz电容电压测量单元

* 4200-SCP2双通道示波器卡

* 4200-SCP2HR 200MS双通道示波器卡

应用套件

* 4225-PMU超快I-V模块