陶瓷薄膜 陶瓷薄膜 铌酸锶钡薄膜，可制成热释电探测器；钛酸铋薄膜，可制成铁电显示器。

外文名

ceramicfilm

方法

物理方法

特点

极薄

用途

特殊工艺技术

品 名

陶瓷薄膜

拼音

taocibomo

陶瓷薄膜

英文名称

ceramic film

说明

一种介质薄膜。通过特定的薄膜工艺（如真空蒸发、溅射工艺等），将陶瓷材料做成厚度仅为微米级的薄膜，所制成的薄膜器件用于集成电路、半导体电路技术中。BaTiO3，PbTiO3，PLZT和Bi4Ti3O12等薄膜用于制造大容量薄膜电容器、电光器件、红外探测器和铁电显示器件等。

常见的陶瓷薄膜有高介电常数的钛酸钡薄膜、钛酸铅薄膜。可用于制造大容量的薄膜电容器。掺镧的锶钡钛酸盐薄膜，可制成热敏电阻辐射热测量器。铌酸锶钡薄膜，可制成热释电探测器；钛酸铋薄膜，可制成铁电显示器。钇钡铜氧薄膜，可制成超导体用。氧化铝薄膜、氧化锆薄膜、氧化钛薄膜，可作为固-液分离膜使用。