同济大学精密光学工程技术研究所隶属于先进微结构材料教育部重点实验室和同济大学物理系，是以同济大学光学与光学工程学科为主要研究力量，经同济大学批准，2002年5月正式开始建设。

中文名

同济大学精密光学工程技术研究所

外文名

Institute of Precision Optical Engineering

组织性质

事业单位

成立时间

2002年5月

研究对象

光与物质相互作用

隶属单位

同济大学

科研定位

研究所紧密结合国际学科前沿和国家重大战略需求，以光与物质相互作用为研究对象，主要开展光学计量技术、尖端光学薄膜技术、极紫外与软X射线及X射线多层膜光学技术、先进成像光学技术、超精密光学制作工艺技术研究，研究所定位于国际前沿性基础和应用基础研究以及关键技术攻关，为我国光学与光学工程的发展提供前瞻性研究成果并培养高层次科技人才。

学术交流

实验室开展了多层次的国内外合作与交流，与美、德、法、英、日、俄罗斯与白俄罗斯等国家的10多所大学和研究机构建立了合作关系，现派出留学生3名。

研究方向

光学计量技术：以纳米长度标准为应用背景，采用激光冷却原子和激光汇聚原子方法，着重研究可溯源到激光波长的纳米结构制作原理、方法和技术，采用原子力显微镜等方法研究纳米结构的表征新途径。

尖端光学薄膜技术：以高强度激光作为应用背景，采用离子束辅助电子束蒸发方法研制高性能光学薄膜，系统测量光学薄膜的力学、热学和光学等物理性质，建立高强度激光与光学薄膜相互作用模型，揭示激光损伤薄膜的机制，探索新型高性能光学薄膜的设计、制作、表征及应用。

极紫外与软X射线及X射线多层膜光学技术：以同步辐射、稠密等离子体诊断、天文学为应用背景，采用磁控溅射方法研制高性能极紫外与软X射线及X射线多层膜，系统研究多层膜的微结构、成分与界面状态等物理化学性质，揭示多层膜宏观性能与微观性质的关系，探索新型多层膜的设计、制作、表征及应用。

先进成像光学技术：以稠密等离子体诊断和精密光学系统应用为应用背景，系统研究特殊要求光学系统的设计方法，探索光学系统高精密装校方法与技术，建立先进光学系统表征方法与技术，研制各种应用要求的高性能光学系统。

超精密光学制作工艺技术：针对极紫外与软X射线及X射线元件与系统的特殊需求，深入开展超光滑和特殊曲面光学元件的加工与性能表征方法与技术，建立新型光学元件加工设备，揭示超光滑与特殊曲面加工工艺的规律，研制出相应的光学元件。